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月数据测试后将进入设备量产阶段。据了解，缓冲分布式喷射反应室、整合ALD与cvd的工艺技术和mocvd电场辅助生长，是昭信半导体mocvd设备的创新点。采用bds反应腔体，通过中
http://blog.alighting.cn/magicc/archive/2011/8/20/233121.html2011/8/20 0:05:00
