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EDWARDS公司宣布推出新的ixh645h干泵，新设备经过优化，适用于led制造中使用的mocvd工艺，以及在栅堆叠(gate stack)中使用iii-v材料的化合物半导体制
https://www.alighting.cn/pingce/20120704/122149.htm2012/7/4 9:28:10
