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蓝宝石衬底的超光滑表面加工进展

回顾了(0001)面蓝宝石衬底在led的重要作用及其磨粒加工方法的发展进程。归纳了磨粒加工在蓝宝石衬底的超光滑制备过程中的应用现状,分别对磨削、机械抛光、干式机械化学抛光、湿式机

  https://www.alighting.cn/resource/20110901/127214.htm2011/9/1 14:20:00

非极性gan用r面蓝宝石衬底

采用温梯法生长了非极性gan外延衬底r(012)面蓝宝石,使用化学机械抛光加工衬底表面,对衬底的结晶质量、光学性能和加工质量进行了研究.结果显示r面蓝宝石衬底基本性能参数如下

  https://www.alighting.cn/resource/20110901/127216.htm2011/9/1 14:07:02

淀积在不同小倾角蓝宝石衬底的n型gan的研究

采用金属有机物化学淀积技术在不同倾角(0°—0.3°)的蓝宝石衬底上外延n型gan.通过原子力显微镜观察到n型gan均呈阶流生长模式,0.2°和0.3°倾角衬底的n型gan表

  https://www.alighting.cn/resource/20110831/127219.htm2011/8/31 16:42:02

(1102)γ面蓝宝石生长的(1120)α面氮化镓研究

采用低温ain作为缓冲层,在(1102)γ面蓝宝石和(0001)с面蓝宝石上分别生长了(1120)非极性α面和(0001)极性с面gan,用原子力显微镜和高分辨x射线衍射、光致发

  https://www.alighting.cn/resource/20110831/127220.htm2011/8/31 16:26:57

衬底温度对al_2o_3(0001)表面外延6h-sic薄膜的影响

采用固源分子束外延技术,以α-al2o3(0001)为衬底,在不同衬底温度下制备了6h-sic薄膜。利用反射式高能电子衍射、原子力显微镜、x射线衍射对生长样品的结构和结晶质量进行了

  https://www.alighting.cn/resource/20110831/127221.htm2011/8/31 16:05:19

表面处理对蓝宝石衬底的影响

采用熔融的koh溶液腐蚀蓝宝石衬底,获得具有三角形图案的腐蚀坑形貌,并对腐蚀坑的三角形形状给出了理论解释。在不同温度和不同的腐蚀时间进行对比结果分析,发现在280℃下腐蚀6

  https://www.alighting.cn/resource/20110831/127222.htm2011/8/31 15:44:51

sapmac法蓝宝石单晶的生长、检测与超声震动加工

分析sapmac法生长大尺寸蓝宝石晶体的工艺技术,并对制备的晶体质量进行了检测与分析.研究结果表明:采用sapmac法生长的蓝宝石晶体结构完整,fhwm值很小,只有11arcse

  https://www.alighting.cn/resource/20110831/127224.htm2011/8/31 15:25:52

led用蓝宝石晶体衬底激光划片工艺

本文对采用355nm和266nm波长激光在不同参数下切割蓝宝石衬底的效果进行比较,对如何取得好的切割效果和表面质量进行研究,实验结果表明266nm激光更加适合进行蓝宝石衬底的切

  https://www.alighting.cn/resource/20110830/127230.htm2011/8/30 14:00:20

led泵浦蓝宝石光纤荧光温度传感器

采用激光加热基座法制备端部cr3+离子掺杂的蓝宝石单晶光纤,得到一体型蓝宝石单晶光纤荧光温度传感头.对所制备的荧光温度传感头的荧光温度特性进行了实验研究.结果表明,随着温度升高c

  https://www.alighting.cn/resource/20110830/127232.htm2011/8/30 13:42:34

aln/蓝宝石模板上生长的gan研究

研究了在分子束外延制备的aln/蓝宝石模板上采用金属有机物化学气相外延生长的非故意掺杂gan的材料性质.采用x射线衍射(xrd)、透射电镜(tem)和原子力显微镜研究了aln模

  https://www.alighting.cn/resource/20110830/127233.htm2011/8/30 13:29:11

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