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以微机单晶硅为主要构成的MEMS传感器也被应用于汽车、工业、农业，医疗等各行各业
https://www.alighting.cn/news/20131220/109211.htm2013/12/20 13:41:55
应包含low-k，MEMS等等特殊产品，同时能降低背崩机率，提升切割效
https://www.alighting.cn/news/20111104/114431.htm2011/11/4 14:11:57
采用金属晶片键合的方式实现led散热是目前一种比较常见的方式，利用低热阻的金属实现热传导。晶片键合最早开始于二十多年前MEMS功率器件的封装，开始采用胶将晶片粘合，现在已经被金属
https://www.alighting.cn/news/20110818/102336.htm2011/8/18 11:30:20
法国元件调查公司yole developpement公司MEMS及半导体封装领域的分析师jerome baron这样指出：在处于半导体前工序和后工序中间位置的“中端”领域，具有代
https://www.alighting.cn/news/201189/n960833774.htm2011/8/9 8:54:47
ev集团(evg)成立于1980年，位于奥地利圣弗洛里安，是微电机系统(MEMS)、纳米技术和半导体市场的晶片键合和光刻设备知名供应商。通过与全球客户的密切合作，凭借其灵活的生
https://www.alighting.cn/news/20110802/115375.htm2011/8/2 9:57:36
d、聚光太阳能电池、激光器、探测器、光MEMS等五大核心芯片具有自主知识产权和持续创新能力，生产线条件、技术支撑等方面具有深厚的基础，具备了建立半导体光谷的条
https://www.alighting.cn/news/20110607/100395.htm2011/6/7 10:35:32
台积电爆出新工艺路线图， 包括cmos，analog，MEMS，rf等领域。morris张的回归，让台积电又回到了使它的竞争对手感到”烦恼的时代”。
https://www.alighting.cn/news/20100419/120574.htm2010/4/19 0:00:00
本文提出了一种基于 MEMS 的 led 芯片封装技术 ,利用体硅工艺在硅基上形成的凹槽作为封装 led 芯片的反射腔 。
https://www.alighting.cn/news/20091223/V22313.htm2009/12/23 12:17:46
icinsights日前公布了2009年光电、传感器及osd组件的分析报告。报告中指出，虽然2008年下半年的经济情势严峻，但去年光电器件、MEMS加速计、cmos影像传感器、功
https://www.alighting.cn/news/20090416/95559.htm2009/4/16 0:00:00
据悉，美国uni-pixel公司表示，该公司在「fpd international 2008」（10月29 -31日，太平洋横浜会议中心）上，将就MEMS彩色显示器「tmo
https://www.alighting.cn/news/20081030/106502.htm2008/10/30 0:00:00
