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日前，microtech公司开发了一种用于制备蓝宝石图形衬底的湿法处理工作站，采用pecvd在蓝宝石晶片上沉积一层图形sio2掩膜，光刻曝光要刻蚀的图形，然后把晶片浸入装有刻蚀
https://www.alighting.cn/pingce/20111207/122715.htm2011/12/7 15:49:08
为“东道主”，同期举办了“蓄势创新 专注蓝宝石衬底”的技术交
https://www.alighting.cn/news/20130528/112141.htm2013/5/28 9:00:16
日本tdk公司开发的陶瓷衬底，不但可以保护led，并使led亮度提升10%。
https://www.alighting.cn/news/2009421/V19464.htm2009/4/21 8:45:31
日前，贵航股份公告称，第二大股东贵阳市工业投资(集团)有限公司以持有贵航全部股份做抵押融资，募资约2亿元人民币，将用于贵阳工投子公司的年产2500万片led衬底材料项目。
https://www.alighting.cn/news/20110721/100487.htm2011/7/21 9:11:15
赛翡蓝宝石项目计划总投资30亿元人民币，其中一期投资5.3亿元，项目规划安装200台长晶炉，建设年产1600万片蓝宝石衬底生产线，成为全球最大的蓝宝石生产厂商。按照计划，到201
https://www.alighting.cn/news/20111121/114157.htm2011/11/21 9:50:31
近日，三安光电发布公告称，与福建省安溪县人民政府签订了《三安光电安溪县蓝宝石衬底项目投资合作合同》，将在福建泉州(湖头)光电产业园投资从事蓝宝石衬底的研发与制造，项目总投资25亿
https://www.alighting.cn/news/20110928/116091.htm2011/9/28 9:34:38
展望2009年，牛津仪器针对6英寸衬底设备首次推出hvpe设备。oipt的等离子设备能用来刻蚀蓝宝石衬底，并在gan沉积之前帮助衬底产生图案化特征。一旦沉积完成，设备也能对蓝宝
https://www.alighting.cn/news/20081229/120300.htm2008/12/29 0:00:00
蓝宝石衬底虽然受到来自si与gan衬底的挑战，但是考虑到成本与良率，蓝宝石在近两年内仍然具有优势，可以预见接下来蓝宝石衬底的发展方向是大尺寸与图案化(pss)。由于蓝宝石硬度仅次
https://www.alighting.cn/resource/20121018/126325.htm2012/10/18 10:48:12
唯首尔半导体以封装大厂身份积极加入gan同质外延阵营，或对市场构成强烈的冲击。首尔半导体长期受制于其外延芯片产能限制，较大部分芯片资源来自集团外部，因此成本不具竞争力，在韩系三巨
https://www.alighting.cn/news/20120710/113328.htm2012/7/10 10:18:36
本文对采用355nm和266nm波长激光在不同参数下切割蓝宝石衬底的效果进行比较,对如何取得好的切割效果和表面质量进行研究,实验结果表明266nm激光更加适合进行蓝宝石衬底的切
https://www.alighting.cn/resource/20110830/127230.htm2011/8/30 14:00:20
