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机金属化学气相沉积设备，是led外延芯片制造的关键核心设备。这一设备长期以来被欧美两大公司(德国Aixtron和美国veeco)垄断。mocvd设备是中国半导体照明产业发展的瓶
http://blog.alighting.cn/xyz8888888/archive/2012/9/5/289135.html2012/9/5 8:23:30
装配备以及相应的查验测验配备等。其间金属有机物化学气相堆积(mocvd)技能是干流的外延成长技能。当前市场上首要的设备供给商是德国的Aixtron和美国的veeco，占90%以上市
http://blog.alighting.cn/184907/archive/2013/8/13/323399.html2013/8/13 15:08:07
