金属有机化学汽相淀积(mocvd)技术
子。--------------------------------------------------------------------------------[定义]mocvd(或movpe)意为金属有机化学汽相外延淀积(或金属有机汽相外延),是一种制备化合物半导体薄层单晶材料的方法。1968年由manasevit提出,到80年代后
http://blog.alighting.cn/q89481240/archive/2011/7/17/229936.html2011/7/17 23:24:00