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到空穴的浓度和深度分布情况。结果表明,激光诱导掺杂zn后,未掺杂显n型的gan材料转变为p型,接近样品表面处空穴浓度最大达3×1018cm-3。利用二次离子质谱方法对zn含量进行测
https://www.alighting.cn/news/2007524/V12577.htm2007/5/24 10:09:31