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为了改善led芯片本身的散热，其最主要的改进就是采用导热更好的衬底材料。早期的led只是采用si硅作为衬底。后来就改为蓝宝石作为衬底。但是蓝宝石衬底的导热性能不是太好，(在100
https://www.alighting.cn/resource/20140526/124550.htm2014/5/26 11:11:04
npss-纳米图形化蓝宝石衬底，为山东元旭光电股份有限公司2019神灯奖申报技术。
https://www.alighting.cn/pingce/20190313/160796.htm2019/3/13 10:10:10
通过研究蓝宝石衬底分子束外延(mbe)生长gan薄膜过程中原位椭偏光谱,发现常规蓝宝石衬底mbe生长gan薄膜的位错缺陷主要起源于缓冲层升温过程中应变能的释放程度。采用蓝宝石邻晶
https://www.alighting.cn/resource/20110722/127403.htm2011/7/22 14:04:45
展望2009年，牛津仪器针对6英吋衬底设备首次推出hvpe设备。oipt的等离子设备能用来刻蚀蓝宝石衬底，并在gan沉积之前帮助衬底产生图案化特徵。一旦沉积完成，设备也能对蓝宝
https://www.alighting.cn/news/20081229/105808.htm2008/12/29 0:00:00
rubicon面临的主要困难是主要制造商推迟了向6英寸蓝宝石衬底led制造的转移，只有德国的欧司朗光电半导体已经实现了这一转移。rubicon称其向led制造商供应的6英寸蓝宝
https://www.alighting.cn/news/20120228/99664.htm2012/2/28 13:41:42
足蓝宝石衬底图形化刻蚀、si衬底刻蚀以及gan基外延层刻蚀等led领域所有刻蚀应
https://www.alighting.cn/news/20100608/119238.htm2010/6/8 0:00:00
采用自制的低压金属有机化学汽相淀积lpmocvd设备,在(100)面偏(110)面9°的ge单晶衬底上外延生长了gainp2材料,研究了生长温度、ⅴ/ⅲ比、生长速率等生长参数
https://www.alighting.cn/2011/9/19 9:55:26
本文研究了衬底驱动mos管技术和运用这一技术进行低电压低功耗模拟电路设计的方法，并且运用这种技术设计低电压低功耗衬底驱动跨导运算放大器和电流差分跨导放大器。
https://www.alighting.cn/2014/12/31 11:00:28
6月10日，在广州举行的2013年新世纪led峰会外延芯片技术及设备材料最新趋势专场中，晶能光电硅衬底led研发副总裁孙钱博士向与会者做了题为“硅衬底氮化镓大功率led的研发及产
https://www.alighting.cn/news/2013618/n757852788.htm2013/6/18 9:12:28
6月10日，在广州举行的2013年led外延芯片技术及设备材料最新趋势专场中，晶能光电硅衬底led研发副总裁孙钱博士向与会者做了题为“硅衬底氮化镓大功率led的研发及产业化”的报
https://www.alighting.cn/news/2013617/n057752776.htm2013/6/17 15:39:40
