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采用射频磁控溅射方法分别在蓝宝石(al2o3)(0001)和硅(100)衬底上制备zno薄膜.通过x-光衍射测量与分析表明两者都沿c轴方向生长,在al2o3衬底上的zno薄膜结
https://www.alighting.cn/resource/20130123/126126.htm2013/1/23 13:45:44
为了改善led芯片本身的散热，其最主要的改进就是采用导热更好的衬底材料。早期的led只是采用si硅作为衬底。后来就改为蓝宝石作为衬底。但是蓝宝石衬底的导热性能不是太好，(在100
https://www.alighting.cn/resource/20140526/124550.htm2014/5/26 11:11:04
rubicon面临的主要困难是主要制造商推迟了向6英寸蓝宝石衬底led制造的转移，只有德国的欧司朗光电半导体已经实现了这一转移。rubicon称其向led制造商供应的6英寸蓝宝
https://www.alighting.cn/news/20120228/99664.htm2012/2/28 13:41:42
1993年世界上第一只gan基蓝色led问世以来，led制造技术的发展令人瞩目。目前国际上商品化的gan基led均是在蓝宝石衬底或sic衬底上制造的。
https://www.alighting.cn/news/2010628/V24194.htm2010/6/28 10:21:22
npss-纳米图形化蓝宝石衬底，为山东元旭光电股份有限公司2019神灯奖申报技术。
https://www.alighting.cn/pingce/20190313/160796.htm2019/3/13 10:10:10
通过研究蓝宝石衬底分子束外延(mbe)生长gan薄膜过程中原位椭偏光谱,发现常规蓝宝石衬底mbe生长gan薄膜的位错缺陷主要起源于缓冲层升温过程中应变能的释放程度。采用蓝宝石邻晶
https://www.alighting.cn/resource/20110722/127403.htm2011/7/22 14:04:45
展望2009年，牛津仪器针对6英吋衬底设备首次推出hvpe设备。oipt的等离子设备能用来刻蚀蓝宝石衬底，并在gan沉积之前帮助衬底产生图案化特徵。一旦沉积完成，设备也能对蓝宝
https://www.alighting.cn/news/20081229/105808.htm2008/12/29 0:00:00
足蓝宝石衬底图形化刻蚀、si衬底刻蚀以及gan基外延层刻蚀等led领域所有刻蚀应
https://www.alighting.cn/news/20100608/119238.htm2010/6/8 0:00:00
计自动化工具)，以实现科锐碳化硅衬底氮化镓 mmic 加工性
https://www.alighting.cn/pingce/20120718/122287.htm2012/7/18 9:41:18
司saphlux，研发了一种新技术，可以在标准的大尺寸蓝宝石衬底上直接生长半极性氮化镓，解决了量产难
https://www.alighting.cn/pingce/20160812/142812.htm2016/8/12 10:03:52
