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日前，microtech公司开发了一种用于制备蓝宝石图形衬底的湿法处理工作站，采用pecvd在蓝宝石晶片上沉积一层图形sio2掩膜，光刻曝光要刻蚀的图形，然后把晶片浸入装有刻蚀
https://www.alighting.cn/pingce/20111207/122715.htm2011/12/7 15:49:08
led芯片大厂semileds旗下子公司台湾矽畿科技（sibdi）开发出的硅衬底多晶封装产品s63及s79，公司称其适用于各种灯具。
https://www.alighting.cn/pingce/20110429/122915.htm2011/4/29 10:29:48
采钰科技日前于台北国际照明科技展览中，展出全球第1片8吋晶圆级氮化铝基板制程的led晶片，不仅是台湾在led制程发展上的一个重要里程碑，同时亦打破以往由日本垄断led氮化铝基板市场
https://www.alighting.cn/pingce/20110413/123319.htm2011/4/13 13:21:04
led 行业不断向更大尺寸衬底发展，并努力降低成本以及提高高质量led芯片产量，近日，monocrystal 公司推出了新一代10英寸c-plane 开盒即用蓝宝石衬底。
https://www.alighting.cn/pingce/20101214/123135.htm2010/12/14 9:21:55
