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本文研究了icp刻蚀蓝宝石中工艺参数对蓝宝石刻蚀速率的影响规律,所用气体为cl2/bcl3,研究结果表明,蓝宝石的刻蚀速率随着icp功率、rf功率和气体总流量的增大单调增大;随着压
https://www.alighting.cn/resource/20130416/125723.htm2013/4/16 10:49:04
采用抗刻蚀性光刻胶作为掩膜,并利用光刻技术制作周期性结构,进行icp干法刻蚀c面(0001)蓝宝石制作图形蓝宝石衬底(PSS);然后,在PSS上进行mocvd制作gan基发光二极
https://www.alighting.cn/resource/20130411/125742.htm2013/4/11 11:59:01
led上游蓝宝石厂陆续公布财报，其中以兴柜锐捷每股获利达8.18元(新台币：下同)，称霸台湾蓝宝石基板族群，成为族群中唯一获利，兆远则每股亏损3.01元，另外晶美、鑫晶钻及佳晶科都
https://www.alighting.cn/news/20130407/88539.htm2013/4/7 9:48:58
因应PSS价格持续下跌，鑫晶钻发言人李季珍表示，小尺寸PSS基板产品目前的确有供过于求状况，但是反向而言，蓝宝石基板价格也已经到了谷底，尤其是大尺寸，如6吋产品。
https://www.alighting.cn/news/20130328/88390.htm2013/3/28 9:43:14
一份关于蓝宝石衬底的详细介绍，现在分享给大家，欢迎各位下载附件，查看详细内容。
https://www.alighting.cn/2013/3/19 11:05:11
本工作对比研究了蓝宝石图形衬底(PSS)和平面衬底(non-PSS)上制备gan基45mil功率型led芯片的光电特性。相比较平面衬底，在PSS衬底上制备的大功率芯片的发光效率提
https://www.alighting.cn/resource/20130305/125961.htm2013/3/5 10:44:44
PSS最近受到热捧，pps的衬底可以有效减少gan外延材料的位元错密度，从而减小有源区的非辐射复合，提升内量子效率，减小反向漏电流，提高led的寿命;另一方面有源区发出的光，
https://www.alighting.cn/resource/20130117/126148.htm2013/1/17 20:11:08
led照明发展将推升相关设备与材料需求。图形化蓝宝石晶圆基板(PSS)技术由于可提升led亮度，已获得大多数厂商青睐，因此随着2013年起，led业者加速投入一般照明应用的产品制
https://www.alighting.cn/news/20130105/88644.htm2013/1/5 16:03:42
者。PSS的普及使等离子设备需求扩大其他设备的市场与供求存在差异的mocvd设备市场一样，2012年的销售额低于2010年和2011年。不过，引领led设计的技术变化的领域却呈现出
http://blog.alighting.cn/xyz8888888/archive/2012/12/29/305996.html2012/12/29 8:50:27
e;PSS)开发，大举采购微影(lithography)与蚀刻(etching)机台，以提高图形化衬底产能。预估2012年大陆图形化衬底制成的蓝宝石衬底渗透率将超过30%，2013年
http://blog.alighting.cn/nianhua/archive/2012/12/17/304247.html2012/12/17 19:34:49
