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可确保样品不会在量测的过程中改变原本的特性,配合Mapping技术或将讯号接收器改为ccd,可得到样品空间分布的特性,得知制程的均匀性以回馈mocvd的制程,于量测时不需电极可监
https://www.alighting.cn/resource/2013/12/10/163051_21.htm2013/12/10 16:30:51