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相的LPE(液相生长)法
https://www.alighting.cn/resource/20130201/126068.htm2013/2/1 16:14:51
外延片生长是指:在基片上生长结晶轴相互一致的结晶层的技术。
https://www.alighting.cn/resource/20101231/128112.htm2010/12/31 10:57:06
在基片上生长结晶轴相互一致的结晶层的技术。用于制作没有杂质和缺陷的结晶层。包括在基片上与气体发生反应以积累结晶层的vpe(气相生长)法、以及与溶液相互接触以生长结晶相的LPE(液
https://www.alighting.cn/resource/20100817/128309.htm2010/8/17 17:35:44